碳化硅外延设备和石墨烯、二硫化钼等二维材料设备的研发和制造(金属有机物化学气相沉积MOCVD 设备）。
石墨烯薄膜宏量制备设备的研发制造和材料研发（卷对卷化学气相沉积CVD设备）。